网站地图联系我们English中国科学院
 
  新闻动态
公告通知
·关于2019年清明节放假安排的通知[03.21]
·关于2019年元旦放假安排的通知[12.07]
·关于2018年中秋国庆节放假安排的通知[09.10]
·关于2018年端午节放假安排的通知[05.29]
·【中科院公众科学日】5月19-20日苏州纳米所:纳米黑科技,来玩么?[05.14]
  您现在的位置:首页 > 新闻动态 > 新闻动态
纳米真空互联实验站一期项目通过工艺专业组验收
2019-04-01| 文章来源:NANO-X 凌小伦| 【

  328日上午,纳米真空互联实验站“工艺设备分项验收会”在苏州纳米所上善苑召开。由来自中科院物理所、中科院兰州化物所、复旦大学、中国科技大学、南京大学的五位专家组成验收专家组,对纳米真空互联实验站一期验证项目的工艺设备进行了现场鉴定和验收。中科院物理所郭建东研究员担任验收专家组组长。 

  工艺设备专家验收组听取了项目建设进展汇报,审阅了《工艺设备验收大纲》、《工艺设备验收报告》等相关资料,并对照项目《工艺测试大纲》及相应指标进行实地测评验收,通过质询和讨论,验收组认为该项目的建设工作已经按照合同要求完成,实现了预期的工艺设备指标,同意通过工艺设备验收。 

  依据纳米真空互联实验站一期的总体设计方案和建设指标,实验站以真空管道互联多类型真空设备为核心特点,目前已经建成全长91米的超高真空管道,工作真空度达到8x10-8 Pa,极限真空度达到2x10-8 Pa,全部满足或优于设计指标;工艺设备与超高真空管道交接传递系统达到工艺测试大纲要求。 

  实验站一期已初步建成包括材料生长、关键器件工艺、准原位表征分析技术在内的验证性研发平台。该平台已经实现了18套设备系统之间的真空互联,并处于正常工作状态。各系统功能相互补充支撑,形成了从材料制备到原型器件研发的工艺互联线,通过开展低维超导、能源、催化和宽禁带半导体四大方向的研究,对实验站一期的实用性、有效性进行了验证。结果表明,建成的互联系统满足上述方向的研究需求。  

  20144月中科院与江苏省签署共建协议,纳米真空互联实验站一期项目小型验证装置总投资3.2亿元。苏州纳米所作为承建单位,联合清华大学薛其坤院士团队、中科院大连化物所包信和院士团队,共同完成了这一超高真空环境下集材料制备、测试分析、器件加工基本功能于一体的、全面开放的科学研究和技术开发平台的建设。 

  纳米真空互联实验站目前已经开始试运行。真空互联的创新技术路线将以前不敢想或者想不到的科研想法变成了现实,是从材料研究到器件开发的“国之重器。该平台在材料科学和技术、物理学、催化机理、能源材料等诸多领域将发挥重要作用,为我国科研界以及产业界的创新发展提供强有力的支持,有望成为国家解决关键技术“卡脖子”问题和发展从纳米制造到原子制造技术路线的先进研究基地。该装置也是江苏省重大科技基础设施的核心单元,并为推动我国真空领域核心设备自主研发做出了重大的贡献。 

  纳米真空互联实验站的建成,将充分发挥从材料生长、器件加工到测试分析为一体的特点,为广大用户提供国际先进的研究平台。为了充分发挥装置作用,满足各领域研究及应用用户的迫切需求,专家们还建议:在一期互联平台建设的基础上,增加更多功能的设备互联,进一步拓展系统功能,吸引更多的科研和产业用户,将纳米真空互联实验站建设成为国家重大科技基础设施。 

 

  会议现场 

   

  现场调研 

   

  上善苑 

   

  实验大厅 

 
版权所有:中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 备案序号:苏ICP备10220403号
地址:江苏省苏州市苏州工业园区若水路398号 邮编:215123 Email: administrator@sinano.ac.cn