10月12日中午,研究所为庆祝建所十周年举行了全民健身徒步活动。徒步前,大家集体排出了SINANO/2006-2016的字样,纳米真空互联实验站几位博士见了,顿时兴起用高精度设备刻写纳米结构字样的想法。部门正好在验收一台FEI聚焦离子束显微镜,此设备可以通过高聚焦的离子束对样品做纳米加工以及表面成像。想到就做!经过构思、设计以及反复尝试,在丁孙安研究员指导下,纳米级的图形字样产生了:在Si衬底表面由金属Pt沉积而成SINANO,最小线宽120nm;2006-2016用Ga离子束刻蚀而成,最小线宽仅35nm。
在技术上通过和工程师交流,我们了解到可以用设备进行更复杂的图形转移与刻蚀。为了进一步验证设备的性能,以研究所建所十周年宣传照片为模板,利用设备自带的图形发生器,通过控制Ga离子枪在每个像素点的轰击时间,得到深浅不一的纳米孔像素点阵列,每个纳米孔直径在30nm,最终形成了纳米级的像素排列。