纳米真空互联实验站模拟实验装置调试成功----中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所

　　五一节来临前夕, 在真空与设备系统部张永红研究员带领下，部门全体员工攻坚克难，纳米真空互联模拟实验装置二期在去年一期的基础上，经过两个月的安装调试，最终取得成功。这为纳米真空互联管道的设计运行、样品的中转过渡实现网格划分、传输定位提供了大量的实验数据，为下步的工程进展奠定了良好的基础。

　　该模拟实验装置是由苏州纳米所同中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司联合研制，包括进样室、过渡室、传输室、中转过渡室、交接中心、存储功能室等基本单元，实现两级人机控制，全程自动化运行。装置全部模拟了样品的大小跨度的传输，3种不同的样品传输和交接方式，保证实现极限真空度<2×10-8Pa，工作真空度<8×10-8Pa，验证了真空获得的稳定性、传输交接稳定性、样品的标识、标定和定位的重复性和稳定性。在此过程中还建立了磁耦合传输实验平台，离子泵抽速实验平台等功能平台，传输室的加工精度达到国内先进水平。