为切实提升研究所和公共实训基地服务地方经济能力,促进苏州纳米技术相关企业的快速发展,3月20日,苏州纳米所纳米加工平台(苏州微纳加工技术公共实训基地、苏州工业园区纳米技术人才公共实训基地)联合苏斯贸易(上海)有限公司、基金委纳米制造联合实验室、中国电子学会电子材料学分会在苏州纳米所D111会议室举办了开年第一场专题讲座——SUSS Technology Day。本次讲座为期一天,共吸引了来自高校、研究所和企业的近百人参与。
为与产业前缘技术接轨,推动纳米技术发展,本次纳米加工平台特邀请SUSS MicroTec集团 Dr. Li Gong、Ralph Zoberbier、Gary Choquette、Joerg Demtroeder、Max Cai和Gen Lee分别就TSV 先进封装技术、准分子激光技术及其在3D 集成领域的应用、3D 光刻技术及其在MEMS 封装领域的应用、晶圆键合技术在MEMS 和LED 加工过程中的应用、临时晶圆键合技术和反应离子束刻蚀技术几个方面的产业发展现状和趋势为听众做了详细的介绍,得到了听众的一致好评。
SUSS MicroTec集团是领先的设备和工艺解决方案提供商,在微细加工应用领域具有超过60年的经验。解决方案涵盖涂胶、烘烤、显影、对准、晶圆片键合等工艺的相关步骤以及光掩膜清洗设备。SUSS MicroTec的设备解决方案可应用于日常生活及工业制造领域,如存储芯片、移动电话摄像头及轮胎压力传感器的生产,是半导体行业、MEMS和LED相关市场的科研及量产用户极其有价值的合作伙伴。
讲座现场